深紫外248nm準(zhǔn)分子激光器-J-50MUV-248 W DIFFUSER能量計(jì)
更新時(shí)間：2025-11-26
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J-50MUV-248 W DIFFUSER能量計(jì)
采用MaxUV涂層的EnergyMax傳感器專門針對(duì)193納米工作的ArF激光器和248納米工作的KrF激光器進(jìn)行了優(yōu)化。這些傳感器具有高精度和大有效區(qū)域（直徑達(dá)50毫米），并采用了一種名為MaxUV的獨(dú)特涂層，可提供ZHUO越的長(zhǎng)期損傷耐受性。
J-50MUV-248 w/Diffuser是一款專門針對(duì)248nm工作的激光器測(cè)試的能量計(jì)探頭。配備了深紫外石英擴(kuò)散器，以增強(qiáng)對(duì)涂層損傷的耐受性。
J-50MUV-248 with Diffuser（帶擴(kuò)散器）
SKU 1110572
500 μJ 至 1J 脈沖能量探頭，重復(fù)率高達(dá) 200 pps，光譜范圍為 0.19 至 0.266 μm，有效區(qū)域直徑為 50 mm。
帶有 MaxUV 涂層和擴(kuò)散器的熱釋電能傳感器，用于以高達(dá) 200 pps 的速度測(cè)量 500 μJ 至 1J 的激光脈沖。
主要特征：
193 至 266 nm 光譜范圍
50 mm 有效區(qū)域直徑
500 μJ 至 1J 能量范圍
200 pps 重復(fù)率
ISO 17025 認(rèn)證
型號(hào) : J-50MUV-248 帶擴(kuò)散器
能量范圍 : 500 µJ 至 1J
噪聲等效能量 (µJ): <16
波長(zhǎng)范圍 (µm) : 0.19 至 0.266
有效區(qū)域直徑 (mm): 50
*大平均功率 (W)1 : 15
*大脈沖寬度 (µs) : 86
*大重復(fù)頻率 (pps) : 200
*大能量密度 (mJ/cm2): 520 (@248 nm)（在10納秒條件下）
探測(cè)器涂層 : MaxUV
擴(kuò)散器 : 深紫外石英擴(kuò)散器
校準(zhǔn)波長(zhǎng) (nm): 248
校準(zhǔn)不確定度 (%) (k=2) : ±3
能量線性度 (%) : ±3
線纜長(zhǎng)度 (米)2 : 2.5
線纜類型 : J DB-25
部件號(hào) : 1110572**
